MKS C系列质量流量控制器 质量流量计

C系列质量流量控制器

C系列质量流量控制器（MFC）是紧凑且快速响应型，用于非腐蚀性气体，流量从50SCCM至50SLM，范围从满量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模拟和RS485，所需电源电压为24VDC。

C系列质量流量计尺寸为：长5.02英寸(127.5mm) ，宽1英寸(25.4mm)，高4.33英寸(109.98mm)，气路转接，下载版本及可用。

MEMS低热式质量传感器提供快速检测流量变化和低噪声输出，传感器的固态设计使其能抵抗水凝结粒子，压力冲击和振动。

快速响应，宽动态控制范围，1%精度，在无腐蚀性工艺应用中的佳选择。用于质谱、真空镀膜、生物反应及多种应用。

C系列融合了快速反应的电磁控制阀与流量传感器，通过MFC优化流量耦合信号处理与控制算法，使得响应时间小于100毫秒。